半导体业有机废气主要成分是工业废气和强酸强碱有机废气两大类。有机化学类成份:硫化氢、氮氧化合物、二氧化硫等,强酸强碱类
成份:二氧化氮、硫酸雾、氯化物、氟化物、氢气等。
我们国家的半导体业市场份额比较高,主要体现在长江三角洲、珠江三角洲、环勃海及其中西部地区地区。产业比较集中有益
于环境污染治理的实施。随着我国对绿色环保高度重视,国家和地方陆续发布半导体业废气排放标准。
(1)符合我国、地区法律、政策法规及其业主规定。选用工艺具备稳定性、原始性、性能稳定、使用成本低、管理方法维护保养
简易、生产效率高等特点,确保处理过的有机废气做到环境保护局标准的环保标准;
(2)机器设备、器械及电气设备一部分使用的是品牌生产厂家商品,质量稳定;
(3)选用行之有效技术手段,提升设备水准,使废气处理装置生产尽量完成自动操作,从而减少操作人员,减少
劳动效率;
(4)错误自然环境造成二次污染;
一般半导体业对于有机废气处理解决方案如下所示:
(1)预备处理环节:选用洗涤塔先向废开展预备处理,清除烟尘及其溶于水的有害物质。
(2)关键解决环节:在这一阶段,非常常见而有效途径有:UV光氧催化,生物过滤溶解,焚烧处理和催化燃烧装置等。
因为每个企业实际所产生的有机废气成份、排风量尺寸、有机废气浓度值不一样,选用的办法也会有所不同或需要多种方式配合使用,
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