截至2013年，对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子（原子）发生撞，将能量转换成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键，生成一些单分子和固体微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，电镀厂废气处理，离子的热运动只有副作用。
废气处理又称废气净化。废气处理指的是针对工业场所、工厂车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到国家废气对外排放的标准的工作。一般废气处理包括了有机废气处理、粉尘废气处理、酸碱废气处理、异味废气处理和空气杀菌消毒净化等方面。工业废气处理指的是专门针对工业场所如工厂、车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到国家废气对外排放的标准的工作。
减少、氮氧化物和烟（粉）尘的排放，垃圾废气处理，对于保护和改善大气环境。不仅非常重要。而且十分紧迫。要想通过减少工业废气来改善空气质量，其手段决不能离开以下三个方面：一是重视废气治理技术的应用与开发，芜湖废气处理，从而降低企业废气治理成本，促进技术效率与规模效率的同步提升；二是加强引导，电厂废气处理，以国家强制手段提高企业的废气治理责任意识；三是优化工业能源结构，加大风能﹑电能及生物能等新能源的利用以集装箱涂装生产线烘房VOCs废气治理为例。加强工业废气污染治理，采用综合举措，严厉对大气污染的行为进行打击，解决工业废气污染问题。
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